माइक्रोएक्टुएटर
आमतौर पर एक्ट्यूएटर यांत्रिक घटकों को स्थानांतरित करने या नियंत्रित करने के लिए एक ऊर्जा स्रोत का उपयोग करते हैं। वे अक्सर मोटर्स और विभिन्न मशीनों में पाए जाते हैं। कई प्रकार के यांत्रिक उपकरणों को पिछले कुछ वर्षों में छोटा किया गया है, लेकिन इस प्रक्रिया के लिए आमतौर पर अलग-अलग घटकों के साथ-साथ बहुत छोटे होने की आवश्यकता होती है। 21 वीं सदी में लघुकरण इस बिंदु पर आगे बढ़ गया है कि माइक्रोएक्ट्यूएटर और अन्य भाग इतने छोटे होते हैं कि उन्हें देखने के लिए अक्सर शक्तिशाली सूक्ष्मदर्शी का उपयोग करना पड़ता है। माइक्रोएक्ट्यूएटर बनाने के लिए लिथोग्राफी और माइक्रो मशीनिंग जैसी औद्योगिक प्रक्रियाओं का उपयोग किया जाता है, और विभिन्न प्रकार के भी होते हैं।
इलेक्ट्रोस्टैटिक माइक्रैक्टुएटर एक सामान्य किस्म है, लेकिन वैज्ञानिक विद्युत चुम्बकीय किस्मों का निर्माण भी कर सकते हैं जो मोटर जैसे उपकरण को सक्रिय करने के लिए अधिक शक्ति का उत्पादन कर सकते हैं। वे कभी-कभी बनाने में मुश्किल होते हैं, लेकिन आमतौर पर एकीकृत सर्किट बनाने के लिए उपयोग किए जाने वाले तरीकों से निर्मित होते हैं। लगभग ०.०४ इंच (१ मिलीमीटर) तक की छोटी मोटरों को बनाया गया है, और अक्सर शोधकर्ताओं द्वारा जैविक कोशिकाओं में छोटे कैथेटर डालने के लिए उपयोग किया जाता है।
इसमें मिश्रित सामग्री के साथ एक पीजोइलेक्ट्रिक माइक्रैक्ट्यूलेटर भी है जो क्रिस्टल के समान प्रतिक्रिया करता है, जिसे जब धक्का दिया जाता है, तो एक विद्युत वोल्टेज बनाता है। पतली फिल्मों को सिलिकॉन पर जमा किया जा सकता है जो बहुत कम दूरी पर गति पैदा कर सकता है। वे कभी-कभी सूक्ष्म लघु रोटार में उपयोग किए गए हैं। अल्ट्रासोनिक माइक्रोएक्ट्यूटर्स अक्सर पीज़ोइलेक्ट्रिक उपकरणों में निर्मित छोटे मोटर्स में उपयोग किए जाते हैं। उदाहरण के लिए, इन्हें छोटे कैमरों के ऑटोफोकस तंत्र में एकीकृत किया जा सकता है।
मूविंग मैकेनिकल कंपोनेंट्स को छोटे पैमाने पर बनाया जा सकता है, लेकिन इलेक्ट्रोस्टैटिक माइक्रैक्टेक्टेटर आमतौर पर एक ऐसी सामग्री से बना होता है, जो इलेक्ट्रिकल चार्ज के आधार पर झुकता है। गति आम तौर पर पैमाने में सूक्ष्म है और बल की एक छोटी मात्रा का उत्पादन किया जाता है। इस सिद्धांत के आधार पर कुछ घूर्णी मोटर्स और रैखिक गति कंघी ड्राइव विकसित किए गए हैं।
माइक्रोएक्ट्यूटर्स का उपयोग डिस्प्ले और प्रोजेक्टर के लिए छोटे दर्पणों के निर्माण के लिए किया जा सकता है। माइक्रोस्कोपिक वर्तमान रिले और हार्ड ड्राइव को नियंत्रित करने के लिए छोटे तंत्र अक्सर ऐसे लघु उपकरणों का उपयोग करते हैं। उन्हें अक्सर माइक्रो-इलेक्ट्रोकेमिकल सिस्टम (एमईएमएस) कहा जाता है, एक ऐसी श्रेणी जिसमें कई प्रकार के लघु चलती भागों शामिल होते हैं।
माइक्रोएक्ट्यूएटर्स का उत्पादन सिलिकॉन में भागों की नक़ल करके पूरा किया जा सकता है। सर्किट बनाने के लिए अक्सर लिथोग्राफी का उपयोग किया जाता है। प्रकाश, रसायन, और जोड़े जाने वाले भागों से बनी एक परत आमतौर पर इस प्रक्रिया में संयोजित होती है। तैयार उत्पाद आमतौर पर परतों में निर्मित होता है, जबकि माइक्रो मशीनिंग में अक्सर लेजर और स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप शामिल होते हैं, उदाहरण के लिए, व्यक्तिगत परमाणुओं और कोशिकाओं को रखने के लिए। दोनों प्रक्रियाओं का उपयोग माइक्रोएक्ट्यूएटर भागों को स्थानांतरित करने और एक सूक्ष्म लघु उपकरण बनाने के लिए किया जा सकता है।
