बल्क माइक्रोक्राइनिंग
बल्क माइक्रोक्राइनिंग अत्यंत छोटे यांत्रिक या विद्युत घटकों को बनाने की एक विधि है। यह प्रक्रिया आमतौर पर सिलिकॉन के वेफर्स का उपयोग करती है, लेकिन कभी-कभी प्लास्टिक या सिरेमिक सामग्री का भी उपयोग करेगी। थोक micromachining एक ठोस टुकड़े के साथ शुरू होता है और सामग्री को तब तक हटाता है जब तक कि यह अपने अंतिम आकार तक नहीं पहुंचता, जैसा कि सतह के micromachining के विपरीत है, जो परत द्वारा एक परत परत बनाता है। थोक micromachining प्रदर्शन के लिए सबसे आम तरीका चयनात्मक मास्किंग और गीला रासायनिक सॉल्वैंट्स के माध्यम से है। इस विधि का नया विकल्प अवांछित सामग्री को हटाने के लिए एक प्लाज्मा या लेजर प्रणाली का उपयोग करके सूखी नक़्क़ाशी है। यह आमतौर पर गीले नक़्क़ाशी से अधिक सटीक है, लेकिन यह भी अधिक महंगा है।
Micromachining वास्तव में छोटे हिस्से बनाने की प्रक्रिया है। ये घटक डायोड से दांतेदार गियर तक कुछ भी हो सकते हैं जो एक पेन टिप का आकार है। इस प्रक्रिया को करने के दो प्रमुख तरीके हैं। भूतल माइक्रोक्राइनिंग एक मौजूदा परत के शीर्ष पर एक टुकड़ा बनाने के लिए एक सिलिकॉन वेफर की व्यक्तिगत परतों का उपयोग करेगा। जबकि यह एक बहुत ही महत्वपूर्ण प्रक्रिया है, पूरी तरह से स्वतंत्र और अद्वितीय टुकड़े बनाना अधिक कठिन है।
उन प्रकार के घटकों को बनाने के लिए, निर्माता भारी मात्रा में माइक्रोक्राइनिंग का उपयोग करेंगे। कई मायनों में, यह संगमरमर से बाहर एक मूर्ति को नक्काशी करने के समान है, बस बहुत छोटे पैमाने पर। अंतिम भाग में अवांछित किसी भी हिस्से को हटाने के लिए सिलिकॉन के एक वेफर को संसाधित किया जाता है। बल्क प्रसंस्करण बड़े से छोटे तक जाएगा जबकि सतह विधि छोटे से बड़े में जाती है।
थोक micromachining के विशाल बहुमत सिलिकॉन का उपयोग करता है। यह सामग्री बेहद सस्ती है क्योंकि यह पृथ्वी की पपड़ी का लगभग एक चौथाई भाग बनाती है। इसके अलावा, इसमें एक बहुत ही महीन क्रिस्टलीय संरचना होती है जो एक मानव बाल की तुलना में पतली परतों में टूट सकती है। यह सामग्री को सूक्ष्म स्तर पर और साथ ही मैक्रोस्कोपिक में काम करने की अनुमति देता है।
थोक micromachining का सबसे आम तरीका गीला रासायनिक नक़्क़ाशी कहा जाता है। सबसे पहले, काम का टुकड़ा एक ऐसी सामग्री में कवर किया गया है जो इसे एक चयनित विलायक से बचाएगा। सुरक्षात्मक मुखौटा तब चुनिंदा रूप से हटा दिया जाता है जो बंद हो रहे टुकड़े के क्षेत्रों को उजागर करने के लिए होता है। काम का टुकड़ा एक विलायक के संपर्क में है, जो तब किसी भी असुरक्षित क्षेत्रों को भंग कर देगा और बाकी को बरकरार रखेगा। बाद में, शेष मास्किंग सामग्री को हटा दिया जाता है।
थोक micromachining के लिए नई विधि सूखी नक़्क़ाशी कहा जाता है। यह अवांछित सामग्री को वाष्पित करने के लिए एक उच्च परिशुद्धता उपकरण, अक्सर एक लेजर का उपयोग करता है। गीली प्रक्रिया की तुलना में, यह कई कम कदम और संभावित खतरनाक सॉल्वैंट्स की कुल कमी है। गीली विधि की तुलना में, और उपकरण खरीदने के खर्च की तुलना में मुख्य कारण यह प्रक्रिया अधिक लोकप्रिय नहीं है।
